測試原理
顯微努氏硬度(HK)通過四棱錐金剛石壓頭在極小載荷(如10gf~1000gf)下壓入材料表面,測量壓痕對角線長度(d),計算硬度值:
HK=14229×F/d²
(F為載荷,單位N;d為長對角線長度,單位μm)。
優(yōu)勢:適用于微小區(qū)域(如涂層、薄膜、晶粒)、脆性材料(陶瓷、玻璃)及低硬度材料(軟金屬、塑料)。
典型應用
材料研發(fā):分析金屬鍍層、陶瓷涂層、半導體材料的硬度梯度。
失效分析:檢測焊接接頭、熱影響區(qū)的局部硬度變化。
質(zhì)量控制:驗證表面處理工藝(如滲碳、氮化)的硬化層深度。
二、操作前準備
設備檢查
壓頭狀態(tài):確認金剛石壓頭無崩角、裂紋,曲率半徑≤0.2μm(高精度測試需≤0.1μm)。
物鏡校準:使用標準硬度塊(如已知HK值的熔融石英)校準顯微鏡放大倍數(shù)與壓痕測量系統(tǒng)。
載荷驗證:通過砝碼或傳感器校驗實際載荷與設定值誤差≤±1%。
試樣要求
表面處理:拋光至Ra≤0.05μm,避免劃痕干擾壓痕測量。
尺寸要求:厚度≥10倍壓痕深度(如10gf載荷下壓痕深度約1μm,試樣厚度需≥10μm)。
支撐剛度:軟質(zhì)材料需背面貼合剛性基底(如玻璃片),防止測試時彎曲。
三、測試操作流程
參數(shù)設置
載荷選擇:根據(jù)材料硬度選擇載荷(如硬質(zhì)陶瓷用100gf,軟金屬用10gf)。
保荷時間:通常10~15秒(脆性材料可延長至30秒,避免彈性恢復影響結(jié)果)。
測試步驟
對焦與定位:
切換至低倍物鏡(如10×)快速定位測試區(qū)域。
切換至高倍物鏡(如50×或100×)精細對焦,確保壓頭清晰可見。
加載與測量:
啟動加載程序,自動施加載荷并保荷。
卸載后,通過顯微鏡目鏡或軟件測量壓痕長對角線長度(精確至0.1μm)。
重復測試:同一區(qū)域至少測試5次,壓痕間距≥3倍對角線長度,取平均值。

四、顯微努氏硬度計的精度控制與誤差規(guī)避
常見誤差來源
壓頭磨損:長期使用后壓頭變鈍,導致硬度值偏低(需定期更換壓頭)。
試樣傾斜:表面與壓頭不垂直,壓痕呈橢圓形,測量誤差可達±5%。
環(huán)境振動:測試臺未隔離振動,載荷波動導致壓痕深度不穩(wěn)定。
精度提升方法
每日校準:使用標準硬度塊驗證設備,記錄校準數(shù)據(jù)并修正偏差。
防震措施:將硬度計置于氣浮平臺或防震臺,避免人員走動干擾。
軟件輔助:采用圖像分析軟件自動識別壓痕輪廓,減少人工測量誤差。
五、結(jié)果分析與報告
硬度值修正
試樣厚度修正:若試樣厚度不足,需根據(jù)公式修正硬度值(如ISO4545標準提供的修正表)。
壓痕形狀修正:非理想壓痕(如邊緣效應、裂紋)需排除或重新測試。
報告規(guī)范
標注測試條件:載荷(gf)、保荷時間(s)、物鏡倍數(shù)、壓頭類型。
提供壓痕顯微照片及測量數(shù)據(jù),確保結(jié)果可追溯。
六、維護與保養(yǎng)
日常維護
清潔:測試后用無塵布蘸酒精擦拭壓頭、物鏡及工作臺,避免樹脂或金屬碎屑殘留。
防塵:長期停用時套上防塵罩,防止灰塵進入光學系統(tǒng)。
定期保養(yǎng)
潤滑:每季度為升降絲杠涂抹耐高溫潤滑脂,確保運動順暢。
校準:每半年送檢至計量機構(gòu),驗證載荷、位移及硬度測量精度。
七、安全注意事項
壓頭保護:操作時避免觸碰壓頭,更換壓頭需使用專用工具。
激光輔助(如有):部分設備配備激光定位,禁止直視激光光源。
電氣安全:確保設備接地良好,避免漏電風險。